KOBELCO AIP-S系列

设备特点

1. 可根据客户的要求定制设备
   可根据所需的涂层性能，变更各种规格，例如蒸发源的种类和数量、涂层分布、涂层速度等。还可根据客户的预算进行定制。
2. 蒸发源详情
   除了CE和UL标准，还可满足客户自己的安全标准
   可根据海外安全标准变更规格。此外，对于客户公司自己规定的内部安全标准，也可以根据要求应对。
3. 可根据设备安装环境灵活地配置设备
   即使在安装空间有限的情况下，也可以灵活地应对，例如在外部安装电源、泵等辅助设备。
4. 设计结构时已充分考虑可维护性
   采用面板等不覆盖电源或泵的结构，重要零部件的可维护性显著提高。此外，采用两侧打开的腔室门，缩短了批次之间的维护时间。

技术优势-电弧蒸发源产品阵容

自从开始PVD事业以来，神户制钢所一直致力于开发核心技术――――"蒸发源"。
S系列中，涵盖了具有不同特点的四种蒸发源。可从普通阴极（NC）、超级阴极（SC）、精细阴极（FC）、超精细阴极（SFC）中，选择适合不同用途的蒸发源。
此外，还可根据要应用的用途、客户的业务内容等推荐适合的蒸发源，定制设备（变更设计和规格）。

部分合作PVD镀膜设备