磁控溅射

磁控溅射-双磁控和中频磁控溅射

2019/02/13 1761

高沉积速率和靶材利用率对于工业过程非常重要。尽管磁控管阴极的沉积速率相对较高，但不如蒸发过程的沉积速率高（在先 […]

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